扫描探针显微镜SPM-9700HT

　　探知未来

　　原子力显微镜（AFM）是在样品表面用微小的探针进行扫描，通过高倍率观察三维形貌和局部物理特性的显微镜总称。SPM-9700HT更是性能高、速度快、操作简单的新一代扫描探针显微镜。

　　 缩短观察时间 高通量扫描

　　通过新开发的可快速响应的HT扫描器以及软件与控制系统设计的优化，成功实现以传统设备5倍以上的速度（与本公司相比）获取图像数据。

　　扫描器可简单更换，因而可使用传统扫描器。另外，可通过在原SPM-9700上追加HT扫描器，实现设备的高效率分析。

　　分析案例

　　• 金属蒸镀膜的表面粗糙度分析

　　以1Hz和5Hz的扫描速度对金属蒸镀膜的表面形貌进行观察。画质及表面粗糙度的分析结果相同。

　　• 光栅沟槽形状检测

　　以1Hz和5Hz的扫描速度对光栅的表面形貌进行观察。经过断面形状分析，沟槽形状检测结果均相同。

　　 探针安装夹具——“探针专家”（选配）

　　可轻松地准确安装探针。

　　安装顺序：

　　① 将探针架安装在探针安装夹具上。

　　② 将探针置于滑动台上。

　　③ 将探针插入探针架并固定，保持探针能够滑动。

　　 头部滑动机构 高稳定性&高速分析处理

　　光杠杆系统和悬臂合为一体的头部机构，仅通过整体滑动设置即可实现样品更换。激光连续照射，维持高稳定性。无需调整光轴中断激光照射，从而缩短分析时间。

　　高稳定性

　　维持高刚性，光杠杆系统可作为一体滑动

　　高速分析处理

　　维持高刚性，成功地开放了样品周围的空间

　　高稳定性

　　·样品交换式也可保持激光稳定照射悬臂

　　·不受震动、声音和外界影响，无需专门的风挡

　　·内置减震器

　　SPM-9700HT 高稳定性的秘诀

　　维持高稳定性的构造 –不同激光照射方式下的稳定性比较-

　　高速分析处理

　　·无需拆除悬臂架即可进行样品交换。

　　·在SPM观测时，也可接触样品。

　　·无论样品的厚薄，可自动驱近到zei适宜的观测位置。

　　SPM-9700HT 高速分析处理的秘诀

　　优异的操作性能 -样品更换的分析处理比较-

　　 SPM-9700HT仅用鼠标即可实现旋转、放大缩小、Z轴倍率的自由变化，调节图像角度和倍率。更有将高度信息和其他物理信息重合显示的质感功能和3D断面形状分析功能，由此实现高度分析，提高图像确认的效率。

　　鼠标操作即可实现丰富的3D图像显示

　　放大缩小

　　旋转

　　Z轴倍率变化

　　质感功能

　　能够将高度信息和其它的物理性信息重合显示。两者关系也可明确显示。

　　3D断面形状分析

　　能够在3D显示时进行断面形状分析。质感功能显示物理性信息时，也可在同一位置分别显示各种各样的断面形状，并进行分析。

　　 从观察到分析实现无拘无束的可操作性

　　从在线观察到离线分析采用无界限约束的新界面（GUI）设计，实现了从观察操作到观察位置、结果分析的简单便捷操作。

　　操作简单明确

　　从启动到观察、分析，均无复杂的设定，轻松点击鼠标即可进行操作。

　　1、启动：在管理画面上选择观察模式。

　　2、设定：按照操作指南的步骤进行操作，即可轻松完成。

　　3、开始观察：单击“开始观察”的按键，从驱近样品表面到进行分析全过程实现自动。

　　4、表示：无需切换至在线状态，即可对之前获取的图像进行确认。

　　5、离线分析：通过丰富的图像显示、处理、分析功能，尽显完美的观察结果，并可进行定量分析显示。

　　观察位置简单明确

　　1、观察画面

zei多可同时显示8组画面，可以实时对形貌和无形等多组图像进行比较。

　　2、导航功能

可以在一个以观察的较大的区域，通过自由导航功能引导进一步观察任何一个指定的特定区域。已保存的图像数据也可作为参照表示 。

　　观察结果简单明确

　　3、在线测长

　　可以边观察边在在线画面上测定断面形状。

　　4、图像历史纪录

能够将之前的图像数据与观察中的图像数据同时显示比较。

　　丰富的扫描功能

　　5、力制图

通过观察到的图像数据的个点测定力曲线，能够观察出样品的机械特性和吸着力的分布。

　　6、矢量扫描

可以针对样品的扫描方向、探针与样品间力、加载电压进行编程，并按设定要求进行观察。

　　 满足所有要求的功能和扩展性

　　丰富的设定模式，不仅可以显示样品形状，更可获得反应电流、电位、硬度和粘弹性等样品表面物理信息的图像。