【技术特点】-- CDE resmap 178 四探针面扫描电阻率

特点简述:
CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及zl自动决定范围量测与传送,通过性高 * 数字测量方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且可以Recipe设定更换.

CDE 提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速，精确与软件控制下针、软件功能可最佳化下针压力，即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作，双针头切换。太阳能使用可支持自动Loader，300mm 机台可使用Front End，最多扩充3个量测单元，支持Semi标准接口。
CDE　ResMap–CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的。

【技术特点对用户带来的好处】-- CDE resmap 178 四探针面扫描电阻率

【典型应用举例】-- CDE resmap 178 四探针面扫描电阻率