技术特点
【技术特点】-- 在线式HIT用PECVD MVS
在线式HIT用PECVD
In-Line PECVD system for HIT junctions
用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统
Throughput: 18 wafers (6”)/cycle
产率:18片6吋硅片/循环
【技术特点对用户带来的好处】-- 在线式HIT用PECVD MVS
【典型应用举例】-- 在线式HIT用PECVD MVS
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