技术特点
【技术特点】-- 椭圆偏光膜厚测量仪(手动)
产品特点:
? 400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱。
? 自动变更反射测量角度,可得到更详细的薄膜解析数据。
? 采用正弦杆自动驱动方式,展现测量角度变更时优异的移动精度。
? 搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。
? 可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
【技术特点对用户带来的好处】-- 椭圆偏光膜厚测量仪(手动)
【典型应用举例】-- 椭圆偏光膜厚测量仪(手动)
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