Model | DM69 | DM88 | DM97-08 | DM97-15 | DM241 | DM277 | DM468 | DM820 |
Number of actuators | 69 | 88 | 97 | 97 | 241 | 277 | 468 | 820 |
Pupil diameter | 10.5 mm | 20.0 mm | 7.2 mm | 13.5 mm | 37.5 mm | 24.5 mm | 33.0 mm | 45.0 mm |
Pitch | 1.5 mm | 2.5 mm | 0.8 mm | 1.5 mm | 2.5 mm | 1.5 mm | ||
Maximum mirror best flat in close loop | 7.0 nm RMS (no print through effects) | |||||||
Minimum tip/tilt stroke (PV, wavefront) | 60 μm | 40 μm | 80 μm | 60 μm | 40 μm | 15 μm | ||
Minimum focus/astig. stroke (PV, wavefront) | 40 μm | 30 μm | 40 μm | 40 μm | 30 μm | 10 μm | ||
Minimum 3x3 stroke (PV, wavefront) | > 25 μm | > 10 μm | ||||||
Maximum settling time (at +/-1 0%) | 800 μs | 1.6 ms | 800 μs | 1.6 ms | 500 μs | |||
Minimum bandwidth* | > 750 Hz | > 400 Hz | > 750 Hz | > 400 Hz | > 2 000 Hz | |||
Minimum frequency at phase lag of 45° | > 500 Hz | > 300 Hz | > 500 Hz | > 300 Hz | > 1 500 Hz | |||
Hysteresis error | <2% | |||||||
Nonlinearity error | <3% | |||||||
Coating* | 银膜R>96.5%@0.5μm~2μm | |||||||
Operating temperature | -10 to 35°C |
备注*:带宽及反射膜均可根据客户实际需求定制。
经销商
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