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具有6个连接通道的cartridge型四探针探头

tel: 400-6699-117 1000

jandel四探针测试仪, 所有jandel公司生产的探头具有非常高的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪来验证规范探针半径曲率、间距以及平面性(平面度/平整度), 其负荷是通过电子测力计来验证。并且每个探针都通过带有宝石导向针进行上下移动。

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技术特点

【技术特点】-- 具有6个连接通道的cartridge型四探针探头


Jandel公司生产的具有6个连接通道的cartridge型四探针探头.其创意设计是与CDE系统相兼容. 

所有jandel公司生产的探头具有非常高的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪来验证规范探针半径曲率、间距以及平面性(平面度/平整度), 其负荷是通过电子测力计来验证。并且每个探针都通过带有宝石导向针进行上下移动。

虽然该探头与KLA/ Tencor /Prometrix公司制造的工具的探头非常的相似,但是这俩个探头之间并不能替换,且要小心的保护它们,尤其是当俩个系统同时使用时.CDE兼容的探头有一个独特的黑色物镜转换器。

 类目

 参数

探针间距

0.500mm,0.635mm,  1.00mm, 1.27mm, 1.591mm (针与针之间)

公差

±10μm

排列

线性或者矩形排列

探针头

碳化钨/直径d=0.4mm(直径d=0.3mm可用于近间距密植距)

针头材质选择

可建议选用50%的锇合金材质

针尖半径曲率

12.5,  25, 40, 100, 150, 200, 300, 500 μm

缓冲区

0.5mm

平面度

≥ ±0.025(或更好)

针尖压力

10g~250g

漏电

当电压500V时,其两针之间的其电阻为1013Ω




【技术特点对用户带来的好处】-- 具有6个连接通道的cartridge型四探针探头


【典型应用举例】-- 具有6个连接通道的cartridge型四探针探头



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