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280SI 美国四探针电阻率测试仪/方块电阻测试仪

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4D Technology四探针测试仪, · 测量尺寸:晶圆尺寸:2-8寸(333系列可测量大至12寸晶圆,1100系列可测量大至2160mmX2400mm平板系......

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    美国4D公司的四探针/方块电阻/电阻率测试设备:280SI (最普及型号)

    · 测量尺寸:晶圆尺寸:2-8寸(333系列可测量大至12寸晶圆,1100系列可测量大至2160mmX2400mm平板系列)

    方形片:大至156mm X 156mm;

    · 测量范围: 0.001欧姆/平方 至 800000欧姆/平方(标准型);

    可往下扩展至:0.0001欧姆/平方,往上扩展至8e9或8e11欧姆/平方。相对应的电阻率,薄膜厚度根据不同材料不同应用而不同,但都是以方块电阻作为基础设备自动计算得出,注意这是选项价格要高不少,建议客户按实际需求选择购买。

    · 测量方式: 电脑程序自动测量,或不连电脑单测量主机也可实现测量和数据显示,此时非常适合测试不规整样片单点测量,适合实际研究需要。

    · 测量的数据: 方块电阻/电阻率/薄膜厚度,根据具体应用可以设置不同测量程序。

    · 测量的点数: 程序编排任意测量点位置及测量点数量,对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量。

    · 测量的精确度:<0.1% (标准模阻);

    · 测量重复性:<0.2% (特定片子);

    · 测量速度:>45点/分钟;

    · 测量数据处理:根据需要显示2D,3D数值图,或按要求统计并输出Excel格式文件;

    · 边缘修正:具有边缘修正功能,即片子边缘3mm以内区域都能测量;

    · 探针材料:钨钢与硅片的接触电阻最小,且耐磨。另外每跟针的轴套采用非常耐磨蓝宝石材料,以确保长时间使用后间距的一致性;

    · 探针压力可调范围:90-200克之间可调;

    · 可供选择的探头类型:根据测试不同工艺要求有A, B,K, M, N等相关型号探头选择,另外还可提供专门为客户定制的应用特殊要求的探针,比如测试薄至30A的薄膜时需要使用MR型探头,这是四探针设备供应商少有能做到的。

    · 设备应用:

         IC FAB/FP dispaly/LED:扩散,离子注入等掺杂工艺监控调试,薄膜电阻率或厚度测量等工序,如Intel,IBM,Motorola,TSMC,CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...

         材料类研究:杜邦(中国),电力科学院,中科院,山东科学院,清华大学,北京大学,复旦大学,华师大,电子科大,国家标准化所,质检所,光伏科学与技术国家重点实验室,Applied Materials, Materials Research...
         新能源:尚德,晶澳,英利,阿特斯,天合,LDK,海润,腾晖,鑫辉,东磁,向日葵,奥特斯维,尖山,晶科,力诺,韩华,神舟,光为,艾力克,吉阳,东营,中盛,First solar,Solar world...

    · 客户群广:国内已经卖出近300台之多,全世界累计各种型号四探针设备近千台。

    · 使用成本

    4D公司所提供的探针质保次数是25万次,而实际从客户反馈的信息是寿命达到100万次以上,甚至150万次以上。同时4D还为客户提供探头的探针更换服务,大大降低客户的使用成本。 

    · 市场占有率高

     国内行业内有几百台的占有率,公司品牌4D已经成为四探针的代名词; 
    根据应用不同工艺要求对应的探针类型详细说明:


    测量数据电脑图(2D/3D)


    各类型四探针设备说明:

    根据客户不同使用要求有更多选择
    * 使用液体金属汞探针替代传统硬探针的四探针设备,如:M4PP 3093;
    * 针对III IV族化合物材料,应用“dynamic AC waveform”克服测量的接触电阻问题,该型号为:680I;
    * 根据不同应用要求,可增加的功能有:温度控制/补偿,边缘修正,样品台定制,自动化要求定制,探头自动切换,通讯接口扩展,测量范围扩展等。







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地址:上海市浦东新区康桥工业区秀浦路800号50号楼1502室

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