扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围100μm*100μm(可选50μm*50μm)
平面偏移度:<2nm(40μm*40μm扫描)
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围12μm(可选25μm)
共振频率:>5kHz
表面成像噪声:0.03nm
样品台
样品台种类:16位点样品台/150mm直径真空吸附台(可选200mm直径真空吸附台)
样品尺寸: 150mm*150mm*20mm
样品重量:zei大500g
样品台移动范围:150mm*150mm(可选200mm*200mm)
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扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
售后服务
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