技术指标
射频发生器(RF):
(1) 电路类型:他激式,由两支金属氧化物场效应管(MOSFET管)组成的推挽放大电路
(2) 工作频率:27.12MHz±0.05%
(3) 频率稳定性:<0.01%
(4) 输出功率的应用范围:700—1200W
(5) 点火功率:≤700W
(6) 输出功率稳定性≤0.1%
(7) 电磁场泄漏辐射强度:距机身300mm 电场强度E:<2V/m
进样装置:
(1) 输出工作线圈:内径22mm,3匝
(2) 炬管:三同心型石英炬管,外径20mm
(3) 雾化器:同心型Meinhard式雾化器,外径6mm
(4) 雾室:特制高效型
(5) 氩气流量计规格:
等离子气流量计:100-1000L/h (1.6-16L/min)
辅助气流量计6-60L/h (0.1-1 L/min)
载气流量计:采用质量流量计并由计算机控制,规格为0-5L/min,分辨率为0.02L/min
氩气稳压值:0.25MPa
分光器:
(1) 光路:Czerny-Turner装置
(2) 焦距:750mm
(3) 光栅规格:离子刻蚀全息光栅,刻线密度3600线/mm;刻线面积80×110mm (可选用刻线密度2400线/mm,刻线面积:80×110mm)
(4) 分辨率:≤0.012nm
(5) 波长测量范围:
光栅3600线/mm波长测量范围:180—500nm;
光栅2400线/mm波长测量范围:180—800nm;
(6)步进电机驱动zei小步距:0.0006nm
(7)出射、入射狭缝:20μm
(8)反射镜规格:(78×105×16)mm
(9) 透镜φ25mm,1:1成像
(10)分光器充氩气后,可测量180-190nm范围内的元素
测光装置:
(1)光电倍增管规格:R212UH或R928
(2)光电倍增管负高压:200-1000V,稳定性<0.05%
(3)光电倍增管电流测量范围:10-4—10-9A
(4)信号采集方式:V/F转换,1mv对应100Hz
整机技术指标:
(1) 测量波长范围:
180-500nm 3600L/mm光栅
180-800nm 2400 L/mm光栅
(2)分辨率:≤0.012nm
(3)测量精度(重复性):平均相对标准偏差RSD≤1%
(4)测量稳定性:平均相对标准偏差RSD≤2%
(5)代表元素检出下限:PPb级
(6)外形尺寸及重量:1400mm(长)×530mm(宽)×560mm(高) 重量:130kg
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