| 技术参数 | TMA 402 F1 Hyperion® | TMA 402 F3 Hyperion® |
| zei大测量长度 | 30 mm | 30 mm |
| 测量范围 | ± 2.5 mm | ± 2.5 mm |
| 位移分辨率 | 0.125 nm | 0.125 nm |
| 负载力 | 0.001N .. ±3N（步长 0.2mN） | 0.001N .. ±3N（步长 0.2mN） |
| 力的分辨率 | < 0.01 mN | < 0.01 mN |
| 调制作用力 | 可达 1 Hz | - |
| 真空度 | < 10-4<-sup> mbar | < 10-2 mbar |
| 气路设计 | 两路吹扫气，一路保护气 | 两路吹扫气，一路保护气 |
| 质量流量控制器（MFC） | 标配 | 选件 |
| 不同温度下的标准系统配置 | |
| -150°C - 1000°C | 不锈钢炉体，液氮制冷系统，熔融石英样品支架，K 型热电偶 |
| RT - 1550°C | SiC 炉体，Al2O3 样品支架，S 型热电偶 |
| 特殊规格可定制 | |
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