TFA – 薄膜物性分析仪

　　系统主要特点：

　　高效便捷的薄膜材料表征手段（nm到um薄膜测试）。

　　不同温度下的测量（-170 to 200℃<-可选300℃>）

　　样品易于制备和处理

　　高的测量适应性 (样品厚度，电阻率，沉积方式)

　　一个样品，一次同步测量即可获得所有相关参数。

　　适用于金属、陶瓷及有机材料。

　　基本测量单元 ：

　　测量室，真空泵，带加热器的支架，电子颊侧装置，集成锁相放大器，3w方法分析软件，计算机和应用软件。可测以下物理参数：

　　 l -热传导系数 (稳态法/平面内方向)

　　 r  -电阻率

　　 s  -电导率

　　 S  -赛贝克系数

　　 e – 发射率

　　 cp  -比热容

　　磁测量单元

　　可根据需求选择集成式电磁铁，可测物理参数如下：

　　 AH  -霍尔常数

　　 μ –迁移率

　　 n -载流子浓度

　　薄膜材料性能有别于块体材料之处

　　 -因小尺寸和高纵横比所导致的表面效应如：边界散射和量子限域效应