测量原理
热反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光闪射系统,可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数,如热扩散系数(Thermal Diffusivity)、热导率(Thermal Conductivity)、吸热 系数(Thermal Effusivity)和界面热阻。
由于激光闪射时间仅为纳秒(ns)量级,甚至可达到皮秒(ps)量级,此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时,系统提供不同的测量模式,以适应于不同的基片情况(透明/不透明)。
该方法符合国际标准:
JIS R 1689:通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数;
JIS R 1690:陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。
发展简史
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测量模式
RF 测量模式 | FF 测量模式 | |
主激光源从反面加热薄膜,检测激光从正面测量薄膜的温度升高过程,从而计算薄膜的导热性能参数。此模式适用于透明基片。 | 主激光源从正面加热薄膜,检测激光从正面测量薄膜的温度下降过程,从而计算薄膜的导热性能参数。此模式适用于不透明基片。 |
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