| 电子枪 | 冷场发射 | ||
| 物镜 | semi-in-lens物镜 | ||
| 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV | ||
| 加速电压 | 0.1～30kV | ||
| 束流 | 1pA ～ 2nA | ||
| 自动光阑角zei佳控制透镜 | 内置 | ||
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000 | ||
| 检测器 | 高位检测器（SED） 低位检测器（LED） | ||
| 能量过滤器 | r-能量过滤器 | ||
| Gentle Beam模式 | 内置 | ||
| 样品交换室 | 内置（具有干燥氮气导入功能） 气锁式、可交换的zei大样品：φ100mm×40mmH | ||
| 样品台 | 5轴马达驱动、全对中测角样品台 | ||
| 样品移动范围 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，倾斜:-5～70°, 旋转: 360° | ||
选配*
可插拔式背散射电子检测器
In-lens背散射电子检测器
能谱仪（EDS*,**)
每小时CO2的排放量 每年CO2的排放量 正常运行时 0.481kg 4,214kg 休眠模式时 0.411kg - 真空系统关闭时
（打开离子泵）0.286kg -
| 二次电子像分辨率 | 1.0nm（15kV）、1.4nm（1kV） | ||
| 倍率 | ×25 ～ ×1,000,000 | ||
| 加速电压 | 0.1kV ～ 30kV | ||
| 束流电流 | 1pA ～ 2nA | ||
| 自动光阑角zei佳控制透镜 | 内置 | ||
| 检测器 | 高位检测器 低位检测器 | ||
| 能量过滤器 | 新型 r-过滤器 | ||
| Gentle Beam （GB模式即柔和光束） | 内置 | ||
| 数字图像 | 1,280×960 像素, 2,560×1,920 像素, 5,120×3,840 像素 | ||
| 样品交换室 | 一步到位式交换功能内置 | ||
| 样品台 | 全对中、5轴马达驱动 | ||
| 型号 | IA | II | III |
| X-Y | 70mm×50mm | 110mm×80mm | 140mm×80mm |
| 倾斜 | －5 ～ ＋70° | －5 ～ ＋60° | －5 ～ ＋60° |
| 旋转 | 360° | 360° | 360° |
| 工作距离 | 1.5mm ～ 25mm | 1.5mm ～ 25mm | 1.5mm ～ 25mm |
| 真空系统 | SIP 3台、磁悬浮TMP、RP、前置阱 | ||
| 节能设计 | 正常运行时: 1.2kVA 休眠模式时: 1kVA 操作系统关闭时: 0.76kVA | ||
耗电量换算成CO2 的排放量
| 每小时CO2的排放量 | 每年CO2的排放量 | |
| 正常运行时 | 0.481kg | 4,214kg |
| 休眠模式时 | 0.411kg | - |
| 真空系统关闭时 （打开离子泵） | 0.286kg | - |
主要选配件
可插拔式背散射电子检测器
in-lens背散射电子检测器
能谱仪（EDS)
电子背散射衍射系统（EBSD)
透射电子检测器
液氮冷阱
分辨率：1.0nm at 15kV;1.4nm at 1kV
加速电压：0.1KV-30kV
放大倍数：25-100万倍
样品室尺寸：zei大200mm直径样品
束流强度：10-13到2X10-9
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