技术指标
溅射电流：5-45mA
工作方式：全自动磁控
溅射电压：600V
靶材：金、铂（标配、二选一）
真空度：＜1Pa
真空泵：油封式旋片泵1L/s（可选配涡旋干泵）
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经销商
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离子溅射仪
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