SEM：分辨率:3.5nm at 30kV高真空模式、ESEM环境真空模式
SEM：加速电压200V-30kV
FIB：分辨率 7nm at 30kV;
FIB：加速电压 2-30kV
ESEM真空系统，样品室压力可达2600Pa
探测器：E-T二次电子探测器、LF GSED大视场气体二次电子探测器、GSED气体二次电子探测器、样品室红外CCD探测器
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