牛津PlasmaPro 100等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)
tel: 400-6699-117 转 2002牛津仪器电子束刻蚀, 该设备是一个灵活和功能强大的等离子体刻蚀和淀积工艺设备。 采用真空进样室进样可进行快速的晶片更换、采用多种工艺气体并扩大......
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产品型号:牛津PlasmaPro 100
品牌:牛津仪器
产品产地:英国
产品类型:进口
原制造商:牛津仪器
状态:在售
厂商指导价格: 30~40万元[人民币]
上市时间: 2012年
英文名称:Plasma Etch & Deposition Systems
优点:该设备是一个灵活和功能强大的等离子体刻蚀和淀积工艺设备。 采用真空进样室进样可进行快速的晶片更换、采用多种工艺气体并扩大了允许的温度范围。
参考成交价格: 30~40万元[人民币]
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电话:400-6699-117 转 2002
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