| 类号 | CS310C | CS320C | ||
| 阀类型 | Normally Closed or Normally Open | No Valve | Normally Closed or Normally Open | No Valve |
| 流量规格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM | |||
| 准确度 | ±1% S.P. (≥35% F.S.)±0.35% F.S. (＜35% F.S.) | ±0.80% S.P. (≥30% F.S.)±0.24% F.S. (＜30% F.S.) | ||
| 线性 | ±0.5% F.S. | |||
| 重复精度 | ±0.2% F.S. | |||
| 响应时间 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||
| 工作压差范围 | (0.05～0.35)Mpa(≤10SLM)(0.1～0.35)MPa (＞10SLM) | ＜0.02 MPa | (0.05～0.35)Mpa(≤10SLM)(0.1～0.35)MPa (＞10SLM) | ＜0.02 MPa |
| 温度系数 | Zero: ≤±0.02% F.S./℃； Span: ≤±0.05% F.S./℃ | |||
| 耐压 | 3MPa | |||
| 漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||
| 密封材料 | Metal | |||
| 工作环境温度 | （0～50）℃ | |||
| 输入信号 | Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0～5)VDC | No | Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0～5)VDC | No |
| 输出信号 | Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0～5)VDC | |||
| 零漂 | ＜0.6%F.S. per year without autozero | |||
| 电源 | ±11～±16 VDC (双极) 或 +11～+28 VDC (单极) | |||
| 表面化学成分 | Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms | |||
| 表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||
| 标准接头形式 | VCR1/4阳接头；1.125″C型密封接头1.125″W型密封接头 | 1.5″B型密封接头1.5″C型密封接头1.5″W型密封接头 | ||
| 电源接头形式 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male | |||
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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