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Joule Yacht 薄膜热导率测试系统 TCT-RT

tel: 400-6699-117 1000

嘉仪通导热仪、热导仪,   ● 不直接测量温度变化,而是通过测量材料在导热过程中温度的变化转换为的电信号的变化来实现微/纳米薄膜材料的热导率......

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薄膜热导率测试系统测试实例

 

  

常温下不同电流时,SiO2薄膜热导率测试结果相同温度下,不同厚度GeTe/Bi2Te3 超晶格热导率测试结果



薄膜热导率测试系统技术参数

型号

TCT-RT

温度范围

RT

测试对象

半导体薄膜、导电薄膜、绝缘薄膜等

热导率测量范围

0.1-10W/(m·K)(可扩展至2000W/(m·K))

测试精度

(热导率)

±5%(在Si上测量),±10%(其他)

适合氛围

真空

样品尺寸

长 x 宽:(5-10)x(5-10),单位mm,薄膜厚度≥100nm

其他注意事项

                  测量导电薄膜时,需要沉积绝缘层(推荐:Sio2),薄膜表面要非常光滑,确保绝缘层不漏电;衬底热导率要远大于薄膜热导率,推荐使用Si、AIN等高热导衬底。

主机尺寸

710 x 600 x 490,单位mm

重量

80kg

 


厂家资料

地址:武汉市东湖开发区高新大道999号未来科技城C4栋11层

电话:400-6699-117 转 1000

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