1.SPM单元
| 分辨率 | XY：0.2 nm、Z：0.01 nm | |
| SPM头部 | 位移检测系统 | 光源/光杠杆/检测器 |
| 光源 |
激光二极管 （635 nm、5 mWmax、On／Off可能） 更换样品时对悬臂持续照射 | |
| 检测器 | 光敏二极管 | |
| 位移换算 噪声水平 | 20fm/√Hz以下 | |
| 扫描器 | 驱动元件 | 管状压电元件 |
| zei大扫描范围 | 2.5 μm× 2.5 μm × 0.3μm（X・Y・Z） | |
| 样品台 | zei大样品形状 | φ38 mm × 8 mm |
| 样品更换方式 | 头部滑动机构 | |
| 样品固定方式 | 磁性固定 | |
| 头部移动范围 | 10 mm × 10 mm | |
| Z轴驱动机构 | 方式 | 步进马达全自动驱近 |
| zei大可驱近范围 | 10mm | |
| 光学显微镜 | CCD | 靶面尺寸： 1/3inch |
| 有效像素 ： 1024×768 | ||
| 镜片 | 动作距离： 65mm | |
| 光学倍率： 4倍 | ||
| 照明 | 同轴落射式照明 | |
| 减震机构 | 减震台 | SPM单元内置 |
2.控制单元
| 控制单元 | 反馈控制器 | 数字控制方式 |
| 通信接口 | 1000Base-T、TCP/IP协议 | |
| 驱动单元 | X.Y轴控制 | －211～＋211 V／16 bit |
| Z轴控制 | －211～＋211 V／16 bit | |
| 模拟单元 | 输入电压 | －10～10 V |
| 分辨率 | 16 bit | |
| 抽样频率 | 200 kHz | |
| 输入信号 | 8通道 |
3.数据处理装置
| 主计算机系统 | 主内存 | 16 GB以上 |
| 外部存储设备 |
内置硬盘250GB以上 CD-RW驱动1套 | |
| 通信接口 | 1000Base-T、TCP/IP协议 | |
| OS | Windows7 Professional（64bit） | |
| 显示单元 | 液晶 |
23英寸宽屏TFT液晶 显示像素 1920×1080像素 |
4.软件
| 在线测定 | 图像观察 |
zei多可同时显示8个画面 可显示扫描中横断面的形状 |
| 扫描模式 | XY、ZX、ZXY可切换 | |
| 控制画面 | 可设定观察条件 | |
| 离线处理 | 一览显示 | 缩略图可实现图像一览 |
| 图像显示、分析 |
可显示.处理.分析图像数据 可显示.分析三维图像数据 |
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