技术指标

进气口法兰：DN160 CF DN160 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN40

抽速速率（L/s）：N2：700 He：580 H2：260 Ar：680

压缩比：N2：1E9 He：1E7 H2：1E6 Ar：1E9

极限压强（Pa）：CF：6E-8 ISO-K：6E-7

最大连续前级压强（Pa）：300

最大前级压强（Pa）：N2：550

最大气载量（sccm）：N2：1400 He：1000 H2：800 Ar：550

额定转速（RPM）：36000

启动时间（min）：≤7

冷却方式：水冷或风冷

冷却水流量（L/min）：≥1

冷却水温度（℃）：≤25

电源电压（V AC）：DC24/AC220

最大功率（W）：≤500

适配电源型号：FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II

建议前级泵（L/s）：4～8

重量（kg）：23（LF）24.5（CF）

尺寸