管式炉R、RT、RS、RHTC、RHTH和RHTV的供气系统/真空操作

仪器简介：

通过配备不同的配件包，RS、RHTC, RHTH和RHTV系列的窑炉可以进行不可燃气、可燃气或真空操作。

主要特点：

配气包1：用于简单的保护气操作(非真空操作)
该配件包可以满足多种不可燃气操作的基本需求。随同窑炉一起供应的标准工作管（由材料C 530制
成）可以继续使用。
可以使用标准工作管
2个陶瓷纤维端塞，带保护气接头
不可燃保护气配气系统(Ar,N2,混合气)，带切断阀和配调节阀的流量计（体积流量50 -
500 l/h），管道已连接（300 mba

额外配置
用第二或第三种不可燃气扩展配气系统
气瓶减压器，用于气瓶配气
自动供气系统（配气板上带附加电磁阀），通过控制器的额外可编程功能接通和关闭（如P 330）//or进口气压由客户负责）

供气系统2：用于在不可燃保护气氛、真空气氛下工作
如管内气体的纯度需要提高，我们推荐您使用该配气包。标准工作管由气密管（由材料C 610或C 799
制成）替换。供货范围不仅包括加长的工作管，还包括气密法兰和相应的固定装置。系统亦可用于真
空操作
加长气密管，由材料C 610（用于温度低于1300 °C的窑炉）或C 799（用于温度高于1300 °C的
窑炉）制成
2个真空密封的不锈钢水冷法兰，安装在出口侧（通过水管接口NW9的冷却水供给由客户负责）
固定装置，用于将法兰固定到窑炉上
不可燃保护气配气系统(Ar,N2,混合气) ，带切断阀和配调节阀的流量计（体积流量50 - 500
l/h）,排气阀，管道已连接（300 mbar进口气压由客户负责）
额外配置
用第二或第三种不可燃气扩展配气系统
气瓶减压器，用于气瓶配气
自动供气系统（配气板上带附加电磁阀），通过控制器的额外可编程功能接通和关闭（如P 330）
带快速连接装置的末端水冷法兰
用于闭合水循环的冷却装置
法兰内装有视窗，可观察物料的情况
真空操作
用于对工作管进行抽真空的真空系统，由以下部件组成：排气插件、1个球阀、压力计、手动操作
的单级转阀真空泵（排气口接有不锈钢波纹管），工作管内可达到的最终压力最大为10-2 mbar
其他最终压力达10-5 mbar的泵机可按需供应（参见“真空泵”）

供气系统3 ：用于在氢气气氛下工作，在工作人员监管的条
件下进行手动操作
通过加装供气系统3，管式炉可以在氢气气氛下工作。在氢气气氛下工作
时，工作管内的安全过压控制在30 mbar左右。多余的氢气由一个排气燃
烧装置燃烧。工序开始前、结束后以及在出现故障时，需要操作人员手动
完成工作炉膛的惰性化。
在可燃气体气氛下工作时的安全技术，包括对火焰功能进行监控以及用
过压进行管路破裂监控
加长气密性工作管
2个真空密封的水冷不锈钢法兰（冷却水供应由客户通过水管接头自行
解决）
排气燃烧装置
用于监控安全过压的压力开关
H2和N2供气系统。气流量通过手动进行调节（客户方负责供应1 bar的
H2、10 bar的N2、6-8 bar的空气和300 mbar的丙烷）

供气系统4 ：用于在氢气气氛下工作，全自动，
无需人工监管
使用内置式氮气紧急冲洗容器增强安全性能，即可在无人监管的情况下全自动运行窑炉。装备安全
PLC控制器，预冲洗、氢气导入、操作、故障监控和冲洗均在工序结束时自动进行。发生故障时，工
作管将立即由氮气冲洗，设备自动进入安全状态。

系统3的额外配置
附加的安全控制装置，发生故障时紧急冲洗工作管
紧急冲洗容器
通过安全PLC装置进行调控，触摸屏用于数据输入
系统3 - 4的额外配置
简易的安全技术用于氢气导入操作，只用于温度高于800 °C的情况
工作温度高于800 °C时可以打开工作管
引导火焰在工作管排出口上
温度低于800 °C时不能导入氢气，系统锁闭
RS系列可使用
供气系统的扩展装置，用于其它不可燃气体
气瓶减压器，用于气瓶供气
冷却台，用于封闭式冷却水循环
真空系统（氢气操作时只可用于预抽真空）
PLC控制器（在供气系统4内为标准配置）
由可编程控制的质量流量控制器实现供气（只针对使用PLC控制器的炉型）

真空泵
根据最终压力的不同，我们提供各种不同的真空泵（另见下“真空泵”）：
一级式转阀真空泵，最终压力约为20 mbar。
二级式转阀真空泵，最终压力约为10-2 mbar。
PT70 Dry泵工作站（带后置涡轮分子泵的膜片式泵）最终压力可达10-5 mbar。
提示：
为保护泵机，只可使用冷抽真空方式。由于高温能降低工作管强度，必须遵守真空条件下的最高工
作温度（参见“控制方式和工作管”）。