| 产品规格 | - |
|---|---|
| 高度（英制） | 8.62 in. |
| 高度（公制） | 218.94mm |
| 赫兹 | 50/60Hz |
| 电压 | 100/115VAC；220/240VAC |
| 重量（英制） | 51 lb. |
| 宽度（英制） | 16.75 in. |
| 宽度（公制） | 425.45mm |
| 描述 | 多种气体校准仪 |
| 流速 | 稀释空气流速范围 0 - 10 SLPM；可选 |
| 输入 | 测试通道模拟信号: 6路0 - 100mV、1、5、10V（用户可选）；输入：16 路数字控制输入 |
| 线性 | 满量程的 0.5% |
| 安装选项 | 台式安装（标配）、EIA、Retrofit |
| 输出 | 10 个继电器和 8 路 24VDC 电磁阀 |
| 响应时间 | 60 秒内达到目标值的 99%（腔体内采样管内） |
| 工作温度（公制） | 0° - 45°C |
| 许可和认证 | ETL、CSA、UL、CE |
| 深度（英制） | 23 in. |
| 深度（公制） | 584.19mm |
| 物品描述 | 146i 型多种气体校准仪 |
| 瓦数 | 275w |
| Electrical Requirements | 100/115VAC；220/240VAC 50/60Hz |
| 流量测量准确度 | ±2%读数或1%满度值，以较低者为准（20至100%满度值） |
| 流量测量线性 | 0.5%满度值 |
| 流量测量重复性 | ±2%读数或1%满度值，以较低者为准（20至100%满度值） |
| 零气流量 | 5或10（准标）或20slm |
| 标气流量 | 50或100（标准）或200sccm |
| 渗透透炉温度 | 30或35或45℃±0.1℃ |
| 臭氧源输出浓度 | 6ppm-liters(稳定性和重复性满足或超过U.S. EPA 的要求） |
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