111型零气发生器
输出压力 | 10-30PSI |
流量 | 0-10L/min,0-20L/min(可选) |
露点 | 0℃ |
零气纯度 | SO2≤0.5ppb NO ≤0.5ppb NO2≤0.5ppb O3 ≤0.5ppb CO ≤0.02ppm HC ≤0.02ppm |
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