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产品规格：
| 离子加速电压 | 2 ～ 8 kV |
| 离子束直径 | 500 um( FWHM) |
| 研磨速率 | 500 um（两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um） |
| 样品架冷却达到的温度 | -120 ℃ |
| 样品冷却持续时间 | 8小时以上 |
| 制冷箱容量 | 约1升 |
| 承载样品的zei大尺寸 | 11mm(长) × 8mm（宽）× 3mm（厚） |
| 样品台移动范围 | X轴：±6mm、Y轴：±2.5mm |
| 固定样品方法 | 夹式 |
| 样品加工摆角 | ±30° |
| 加工观察用相机的倍率 | 约20～100倍（6.5寸显示器上） 机械泵: 150 mm（宽） × 427 mm（长） × 230 mm（高）、约16 kg |
| 空气隔离系统 | 转移舱 |
| 空气隔离法 | 将舱内设定成氩气气氛，盖上转移舱盖子，将样品封在舱里。 |
| 操作方法 | 触控屏、6.5寸显示器 |
| 使用气体 | 氩气(用质量流量控制器控制流量) |
| 压力测试 | 潘宁真空计 |
| 主抽真空系统 | 涡轮分子泵 |
| 辅助抽真空系统 | 机械泵 |
| 尺寸、重量 | 主机：约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg 机械泵：约150 mm (宽) × 430 mm(长) × 230 mm(高)、约16kg |
| 选配件 | 大型旋转样品架（IB‐11550LSRH)、（IB‐11550LSRH) 基座样品架 （IB‐11560MBSH) 大型样品架（IB-11570LSH) 喷碳样品架（IB-12510CCH） |
| 电源 | 单相100～120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA |
| 接地线 | 独立地线(100 Ω以下) |
| 氩气 | 使用压力：0.15±0.05 MPa(1.0 ～ 2.0 kg/cm²) 纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备) 金属配管连接口:JISB0203 RC1/4 |
| 室温 | 15～25 ℃ |
| 湿度 | 60%以下 |
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