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产品规格
| EM-09100IS | ||
| 离子加速电压 | 1 ～ 8kV | |
| 倾斜角 | Up to 6°(0.1°/步) | |
| 离子束直径 | 500μm(FWHM) | |
| Milling rate | 5m/min (加速电压:8 kV, Si换算) | |
| 使用气体 | 氩气 | |
| zei大样品尺寸 | 2.8mm(长度)×0.5 mm(宽度)×0.1mm(厚度) | |
| 压力测试 | 潘宁规 | |
| 主抽真空系统 | 涡轮分子泵 | |
| CCD相机 | 内置 | |
| 尺寸 重量 | 主机 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg |
| 机械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | |
| 液晶显示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | |
安装条件
| EM-09100IS | |
| 电源 | 单相, AC100 ～ 120V, 50/60Hz, 500 ～ 600VA |
| 接地线 | 独立地线(100Ω以下) |
| 氩气 | 使用压力: 0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm2) 氩气流量：约0.2立方厘米 纯度: 99.9999%以上 (氩气、气瓶及调压器由客户自备) 金属配管连接口:JISB0203 RC1/8 |
| 室温 | 20 ～ 25℃(fluctuation: 1°C/hor less变动少于1°C/h) |
| 湿度 | 60% 以下 |
*请提供安放设备的桌子。
*产品外观及技术规格可能未经预告而有所变更。
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