检测元素范围WDS:(Be)*1 /B~U, EDS:B~U
X射线检测范围WDS检测的波长范围: 0.087~9.3nm,
EDS EDS检测的能量范围: 20keV
分光谱仪数量WDS: 1~5道可选、EDS: 1台
zei大样品尺寸100mm × 100mm × 50mm(H)
加速电压0~30kV(以0.1 kV为步长)
束流电流范围10-12 ~ 10-5 A
束流电流稳定度5%/h, ±0.3%/12h(W)
二次电子分辨率6nm(W), 5nm(LaB6)*2
(W.D. 11mm, 30kV)
扫描倍率×40 ~ ×300,000(W. D. 11mm)
扫描图像分辨率zei大 5,120× 3,840
彩色显示器EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024
SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024
光学显微镜
分辨率~1um
焦深1um
真空系统机械泵、分子泵、离子泵 *2
真空度样品室: 优于8.0 x 10-4Pa,
电子枪: 优于9.0 x 10-5Pa
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经销商
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电子探针X射线微区分析仪(EPMA)
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