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日本电子JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统

tel: 400-6699-117 6205

日本电子扫描电镜SEM, JIB-4000聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。被加速了的镓离子束经聚焦照射样品后,就能对样品表面进行SIM观察 、研磨,沉积碳和钨等材料。还可以为TEM成像制备薄膜样品,为观察样品内部制备截面样品。通过与SEM像比较,SIM像能清楚地显示出归因于晶体取向不同的电子通道衬度差异,这些都非常适合于评估多层镀膜的截面及金属结构。

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  • 产品规格

  • FIB


离子源Ga (镓)液态金属离子源
加速电压1~30kV(5 kV/步)
放大倍率×60 (用于视场搜索)
×200~×300,000
图像分辨率5 nm (30 kV)
zei大束流60 nA (at 30 kV)
可变光阑12 档(马达驱动)
离子束加工形状矩形、线状、点状
样品台块状样品用 5 轴测角样品台
X:±11 mm
Y:±15 mm
Z:0.5 ~ -23 mm
T:-5 ~ +60°
R:360°无限
样品zei大尺寸:  28 mmφ(高度13 mm)、50 mmφ(高度2 mm)


  • 主要附件

  • 气体注入系统 (IB-02100GIS2)

  • 碳沉积圆筒 (IB-52110CDC2)

  • 钨沉积圆筒(IB-52120WDC2)

  • 白金沉积圆筒 (IB-52130WDC2)

  • 侧插式测角样品台 (IB-01040SEG)

  • 束流探测器 (IB-04010PCD)

  • 操作面板(IB-05010OP)

  • 样品台导航系统 (IB-01200SNS)

  • FIB Tip-on(尖端上可以安装附件的)样品架(EM-02210)

  • FIB 块状样品用样品架FIB  (EM-02220)

  • FIB 块状样品用样品架1(EM-02560FBSH1)

  • FIB 块状样品用样品架2 (EM-02570FBSH2)

  • FE-SEM 样品架适配器 (EM-02580FSHA)

  • 穿梭移动夹头Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)

  • 原位样品提取系统 (EM-02230)


厂家资料

地址:北京市西城区阜外大街2号万通新世界广场B-1110

电话:400-6699-117 转 6205

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