产品规格：
| 电子枪 | ZrO/W 肖特基型 |
|---|---|
| 描画方式 | 圆形束, 矢量扫描, 步进重复式 |
| 加速电压 | 100kV |
| 样品尺寸 | 样品尺寸 (可以安装): zei大300mmΦ的晶圆片, zei大6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小样品。 |
| zei大场尺寸 | 1000µm×1000µm |
| 样品台移动范围 | 260mmX240mm |
| 样品台控制单元 | 0.15nm（λ/4096） |
| 套刻精度 | ≦±11nm |
| 场拼接精度 | ≦±10nm （场尺寸为1000µm×1000µm） |
| 写场内位置精度 | ≦±9nm（场尺寸为1000µm×1000µm） |
| 定位DAC | 20位 |
| 扫描速度 | zei大 100MHz |
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经销商
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