产品规格：
| 型号 | zei大输出功率 | 偏转角度 | 灯丝 | 电子束扫描 | 坩埚 | 氧化物 | 金属 |
| BS-60060DEBS | 6.4kW | 270° | Ｕ字形 （长寿命） | 快速 扫描 | 无*2 | ◎ | ○ |
| BS-60050EBS | 10kW | 270° | 无*2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60040VDGN | 10kW | 270° | 无*2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60030DGN | 10kW | 270° | 无*2 | ◎ | ○ | ||
| EBG-102UB6S | 10kW | 180° | 漩涡形 | 12cc×6 个 | ◎ | ○ | |
| EBG-102UB4S | 10kW | 180° | 12cc×4 个 | ◎ | ○ | ||
| JEBG-102UH0 | 10kW | 180° | 无*2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60210DEM ＋BS-60140H4H | 10kW | 270° | 直线线圈形 （长寿命） | 中速 扫描 | 40cc×4 个 | △ | ◎ |
| BS-60210DEM ＋BS-60150H6H | 10kW | 270° | 40cc×6 个 | △ | ◎ | ||
| EBG-203UB6S | 20kW*1 | 270° | 漩涡形 | 快速 扫描 | 12cc×6 个*3 | ○ | ◎ |
| EBG-203UB4H | 20kW*1 | 270° | 12cc×2 个 28cc (半球)×2 个 | ○ | ◎ | ||
| JEBG-203UA0 | 20kW*1 | 270° | 无*4 | ○ | ◎ | ||
| JEBG-303UA | 30kW*1 | 270° | 无*5 | ○ | ◎ |
*1: EB电源zei大输出功率为16kW，实际能使用的zei大输出功率为16kW。
*2: 可以定制 ⇒12cc×4 或6个 等
*3: 坩堝小凹孔的形状可以改变 ⇒ 28cc（φ45×20h）×6个， 51cc（φ60×20h）×3个等。
*4: 可以定制 ⇒40cc（φ50×25h）×4或6个， 114cc（φ75×30h）×1个等
*5: 可以定制 ⇒114cc（φ75×30h）×1个， φ34×20h×3个小凹穴（同时蒸镀用）， φ70×30h×4个 等
关于坩埚规格请另行咨询。
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