产品型号：BS-80011BPG

品牌：日本电子

产品产地：日本

产品类型：进口

原制造商：日本电子株式会社(JEOL)

状态：在售

厂商指导价格： 30万元[人民币]

上市时间： 2014-12-12

英文名称：BS-80011BPG built in plasma gun for generating high density plasma

优点：安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术（离子镀），能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外，还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。