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技术规格：
Maximum plasma output zei大等离子体输出： 6kW (160V, 38A)
Operating pressure 操控压力： 1×10-2 to 1×10-1Pa (Ar, O2, N2 atmosphere)
Discharge gas(Ar) 放电气体（氩气）： 8 to 20mL/min
Cooling water 冷却水流速： 7 to 10L/min
Beam method电子束方法 ：反射电子束和辐射电子束可选selectable from Reflection-beam and Irradiation-beam
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