zei大放电输出 | 3.2kW (160V, 20A) |
zei大辅助输出功率 | 2kW (200V, 10A) |
工作压力 | 8×10-3 ~ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 气氛) |
放电气体(Ar) | 8 ~ 20mL/分 |
适用控制电源 | BS-92040CPPC |
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日本电子电子束刻蚀, BS-80020CPPS是用于辅助低温(100℃以下等)下塑料基板和胶片成膜的等离子体源。
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zei大辅助输出功率 | 2kW (200V, 10A) |
工作压力 | 8×10-3 ~ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 气氛) |
放电气体(Ar) | 8 ~ 20mL/分 |
适用控制电源 | BS-92040CPPC |
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