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日立高新S-3400N可变压力扫描电子显微镜

tel: 400-6699-117 1000

日立扫描电镜SEM, 具有更多的自动化功能,操作界面更友好......

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项目 描述
分辨率 二次电子分辨率 30 kV,3.0 nm(高真空模式)
3 kV,10 nm(高真空模式)
背散射电子分辨率 30 kV,4.0 nm(高真空模式)
放大倍率 ×5 - ×300,000
加速电压 0.3 - 30 kV
低真空范围 6 - 270 Pa 图形菜单
图像移动 ±50 µm, WD = 10 mm
zei大样品尺寸 φ200 mm
样品台   I型 II型
X 0 - 80 mm 0 - 100 mm
Y 0 - 40 mm 0 - 50 mm
Z 5 - 35 mm 5 - 65 mm
R 360° 360°
T -20 - 90° -20 - 90°
zei大样品高度 35 mm at WD = 10 mm 80 mm at WD = 10 mm
可观测区 φ105mm φ130mm
驱动类型 手动 5轴马达驱动
电子光学 电子枪 预对中钨灯丝
物镜光阑 可移动4孔物镜光阑
枪偏压 4偏压
探测器 二次电子探测器高灵敏度半导体背散射电子探测器
分析位置 WD = 10mm, 取出角 = 35°
显示器 语言 英语
操作系统 Windows®XP
控制模式 鼠标,键盘,旋钮
显示器 19英寸液晶显示器(如有更改,恕不另行通知)
自动校准 自动设定束流,自动合轴
自动画面调整 自动聚焦,自动消象散/聚焦,自动调亮度和对比度
存储图像精度 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素, 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素
图像存档 搜索功能/内置图像数据库和图像处理功能
图像格式 BMP, TIFF, JPEG
自动数据显示 加速电压,放大倍率,微标尺,单位,底片号码,工作距离,日期/时间,检测器,压力值
图像显示模式 全屏模式:1,280 × 960 像素
小屏模式:640 × 480 像素
双屏模式:640 × 480 像素 ×2
信号混合模式
真空系统 操作 全自动程序
涡轮分子泵 210L/Sec. × 1
机械泵 135 L/Min.(162 L/Min,60 Hz) × 1
安全措施 断电保护,漏电保护
辅助功能 光栅旋转
动态聚焦/倾斜补偿功能
动态消像散
自由排版打印功能
三维动画维修指南
测量方便
图像倾斜
  • *

  • Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标。

  

 

放大倍率: 5X-300,000X

  样品尺寸: zei大尺寸直径200mm

  zei大样品厚度80mm(WD=10mm)

  SE: 3.0nm at 30kv(高真空模式)

  10nm at 3kv(高真空模式)

  BSE: 4.0nm at 30kv(低真空模式)

  加速电压:0.3-30kv

  低真空范围:6-270Pa

  影像位移:±50μm WD=10mm

  zei大样品尺寸:200mm 直径

  样品台

  X轴:0~80mm

  Y轴:0~40mm

  Z轴:5~35mm

  旋转角度:360°

  倾斜角度:-20°~+90°

  zei大高度:23mm在 WD=10mm

  电子光学

  电子枪: 免调整灯丝

  接物镜孔片:可移动式4孔选择

  电子枪偏压:四极式全自动偏压

  检知器: 二次电子侦测器+高感度四分割+1背散射电子侦测器

  分析位置: 工作距离=10mm, TOA=35°

  语言:英文

  操作系统: Windows XP

  操控: 鼠标/键盘+旋钮操控

  显示: 17“液晶显示

  自动准位: 自动电子束准位;自动电子束设定;自动轴准位

  自动影像调整: 自动灯丝饱和;自动失真聚焦;自动聚焦,自动明亮/对比

  影像数据储存: 640×480 pixels, 1280×960 pixels, 2560×1920 pixels, 5120×3840 pixels

  影像档案: 搜寻功能/以影像处理功能内建影像数据基础

  档案格式: BMP, TIFF, JPEG

  自动数据显示: 加速电压,放大倍率,micro标尺,标志,单位,影片,工作距离,日期/时间,侦测器,压力

  影像显示型式: 全屏幕显示: 1,280×960 pixels

  标准显示:640×480 pixels 双影像显示:640×480 pixels 混合讯号

  抽气系统

  操作: 连续式全自动抽真空

  分子涡轮泵浦: 210公升/秒×1

  旋转泵浦: 135公升/分.(162公升/分. with 60Hz)×1

  保护措施: 电源异常;真空异常


厂家资料

地址:北京市朝阳区东三环北路5号北京发展大厦1405室

电话:400-6699-117 转 1000

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