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日立高新S-3700N超大样品仓扫描电子显微镜

tel: 400-6699-117 1000

日立扫描电镜SEM, 该分析用扫描电子显微镜适合用于研究大件,较重,较高的样品。 最大样品直径达300 mm。 可观察范围直径达203 mm。 可对高达110 mm的样品进行观察和能谱分析。 通用型接口布局满足各种分析用途。

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项目 描述
分辨率 二次电子分辨率 30 kV时,3.0 nm(高真空模式)
3 kV时,10 nm(高真空模式)
背散射电子分辨率 30 kV时,4.0 nm(低真空模式) 6Pa
放大倍率 ×5 - ×300,000
加速电压 0.3 - 30 kV
低真空范围 6 – 270 Pa 图形菜单
图像移动 ±50 µm (WD= 10 mm)
zei大样品尺寸/zei大可载样品直径 Φ300 mm
样品台 X 150 mm
Y 110 mm
Z 5 - 65 mm
R 360°
T -20° - 90°
观测区域/zei大观察区域直径 Φ203 mm(可旋转)
zei大高度 110 mm (WD= 10 mm)
样品台控制 计算机控制5轴马达驱动优中心
电子光学 电子枪 预对中钨灯丝
物镜光阑 可移动式4孔物镜光阑
枪偏压 带可控4偏压
检测器 埃弗哈特 索恩利二次电子检测器
高灵敏度半导体背散射电子探测器,五分割
分析位置 WD = 10 mm, 取出角 = 35°
显示器 控制模式 操纵杆,键盘和旋钮
显示器 19.1英寸液晶平面显示器(如有更改,恕不另行通知)
自动合轴 自动设定束流,自动合轴
自动图像调整 自动聚焦,自动消象散/聚焦,自动调整亮度和对比度
存储图像精度 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素
2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素
图像文件格式 BMP,TIFF,JPEG
图像显示模式 全屏显示:1,280 × 960 像素
小屏显示:640 × 480 像素
双屏显示:640 × 480 像素 × 2
信号混合模式
真空系统 操作 全自动程序
涡轮分子泵 210L/sec. × 1
机械泵 135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1
安全措施 断电保护,漏电保护
辅助功能 光栅旋转,动态消像散
动态聚焦/倾斜补偿功能
自由排版打印功能,字母/数字功能
三维动画维修指南
导航,测量方便,倾斜画面

 

 



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