项目 | 描述 | |
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分辨率 | 二次电子分辨率 | 30 kV时,3.0 nm(高真空模式) |
3 kV时,10 nm(高真空模式) | ||
背散射电子分辨率 | 30 kV时,4.0 nm(低真空模式) 6Pa | |
放大倍率 | ×5 - ×300,000 | |
加速电压 | 0.3 - 30 kV | |
低真空范围 | 6 – 270 Pa 图形菜单 | |
图像移动 | ±50 µm (WD= 10 mm) | |
zei大样品尺寸/zei大可载样品直径 | Φ300 mm | |
样品台 | X | 150 mm |
Y | 110 mm | |
Z | 5 - 65 mm | |
R | 360° | |
T | -20° - 90° | |
观测区域/zei大观察区域直径 | Φ203 mm(可旋转) | |
zei大高度 | 110 mm (WD= 10 mm) | |
样品台控制 | 计算机控制5轴马达驱动优中心 | |
电子光学 | 电子枪 | 预对中钨灯丝 |
物镜光阑 | 可移动式4孔物镜光阑 | |
枪偏压 | 带可控4偏压 | |
检测器 | 埃弗哈特 索恩利二次电子检测器 | |
高灵敏度半导体背散射电子探测器,五分割 | ||
分析位置 | WD = 10 mm, 取出角 = 35° | |
显示器 | 控制模式 | 操纵杆,键盘和旋钮 |
显示器 | 19.1英寸液晶平面显示器(如有更改,恕不另行通知) | |
自动合轴 | 自动设定束流,自动合轴 | |
自动图像调整 | 自动聚焦,自动消象散/聚焦,自动调整亮度和对比度 | |
存储图像精度 | 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素 | |
2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素 | ||
图像文件格式 | BMP,TIFF,JPEG | |
图像显示模式 | 全屏显示:1,280 × 960 像素 | |
小屏显示:640 × 480 像素 | ||
双屏显示:640 × 480 像素 × 2 | ||
信号混合模式 | ||
真空系统 | 操作 | 全自动程序 |
涡轮分子泵 | 210L/sec. × 1 | |
机械泵 | 135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1 | |
安全措施 | 断电保护,漏电保护 | |
辅助功能 | 光栅旋转,动态消像散 | |
动态聚焦/倾斜补偿功能 | ||
自由排版打印功能,字母/数字功能 | ||
三维动画维修指南 | ||
导航,测量方便,倾斜画面 |
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