仪器型号：Apollo300
生产厂家：CamScan （英国剑桥）
主要技术指标:
1.分辨率：1.2nm（30kv）/1.5nm（15kv）/2.0nm（1kv）
2.加速电压：100-30kV
3.EDS分辨率: Mn Ka小于133eV
4.EDS 元素分析范围：B5-U92
主要附件:
1.Through-Lens电子探头
2.低位探头
3.英国OXFORD公司INCA EDS
4.英国OXFORD公司 EBSD
5.波谱仪（计划安装）
主要用途：
样品表面高分辨形貌观察、表面元素能谱分析、材料织构分析等。
技术参数
1.电子枪: 高精度预对中三级透镜，由安装了高亮度肖特基电子光源的热场电子枪和两级磁透镜组成
2.zei大束流: 典型30nA (在减小分辨率的情况下,可达100nA)
3.放大倍率: ＜3x to＞900，000x
4.加速电压: 0.1到30KV
5.内部尺寸: 宽413mmx深313mmx高313mm
6.多个附件接口: 用于EDX, WDX, EBSD, SEI 的16个位置合理的附件接口
7.样品台: 6轴，优中心中样品台移动，高精度样品移动，大样品台
8.样品台移动：X=100mm,Y=100mm,(Y=150mm,选配)Z=50mm,倾斜角=-5to+90°，Z'=10mm,旋转角=360°
9.DELPHI透镜贯穿式(SE/BSE）上位探测
电子枪: 高精度预对中三级透镜，由安装了高亮度肖特基电子光源的热场电子枪和两级磁透镜组成
zei大束流: 典型30nA (在减小分辨率的情况下,可达100nA)
放大倍率:<3x to>900，000x
加速电压: 0.1到30KV
内部尺寸: 宽413mmx深313mmx高313mm
多个附件接口: 用于EDX, WDX, EBSD, SEI 的16个位置合理的附件接口
样品台: 6轴，优中心中样品台移动，高精度样品移动，大样品台
样品台移动：X=100mm,Y=100mm,(Y=150mm,选配)Z=50mm,倾斜角=-5to+90°，Z'=10mm,旋转角=360°
DELPHI透镜贯穿式(SE/BSE)上位探测
SED, EDX, WDX and EBSD are all mounted on same chamber face and point in direction of stage tilt axis.
Total number of available ports:
Mounting face | Number of Ports | Normal Use | Additional information |
|---|---|---|---|
Door: | 3-off | 2-off (Fastrac) 1-off (Spare) | Available for other uses when Fastrac stage control not fitted. Upper port used for Cryo transfer LN2 reservoir. |
Left face | 1-off 1-off 1-off | EDX WDX EBSD | 40º take off angle (30º, 45º options) |
Rear face | 3-off 1-off | BSD Robinson Retractable BSE Head amplifier | Normally mounted under final lens except for Low Vac SEM For Low Vac System only |
Right face: | 1-off | Airlock port | The large single 200mm flange can be used for other purposes when Airlock not fitted. |
Top of chamber: | 2-off | Stereo optical microscope + illumination. | Alternative viewing devices can be fitted. |
| 经销商 | 电话 | 咨询 |
|---|---|---|
| TESCAN泰思肯贸易（上海）有限公司 | 400-6699-117 转 5963 | 向他咨询 |
售后服务
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