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透射电镜TEM
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赛默飞透射电镜TEM, 聚焦离子束电子束双束系统-用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构;高质量定点TEM样品制备;离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积;可进行磁性金属样品的沉积等功能
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