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Apreo 2 SEM场发射扫描电子显微镜

tel: 400-6699-117 8899

赛默飞扫描电镜SEM, 一款具备优异性能的多功能型成像及分析的扫描电镜,适用于纳米及亚纳米级别的空间分辨率应用,纳秒级的T1闪烁体探测器,大工作......

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场发射扫描电镜Apreo SEM规格


Apreo 2 S

Apreo 2 C

分辨率

  • 30kV下0.7nm(STEM)

  • 15kV下0.5nm(样品台减速)

  • 1kV下0.9nm

  • 1kV下0.8nm(样品台减速)

  • 1kV下1.0nm(工作距离10mm,样品台减速)

  • 500V下0.8nm(样品台减速)

  • 200V下1.2nm(样品台减速)

  • 30kV下0.7nm(STEM)

  • 15kV下0.9nm(样品台减速)

  • 1kV下1.2nm

  • 1kV下1.0nm(样品台减速)

  • 500V下1.2nm(样品台减速)

标配探测器

  • ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+

  • ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+

PivotBeam

  • 选区电子通道衬度模式(也称为“摇摆光束“模式)。

  • 不适用

选配探测器

  • DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼光谱、EBIC 等

ColorSEM技术(选配)

  • 基于能谱仪(EDS)实时定量数据对扫描电镜图像进行着色。可提供的数据包含点分析、线扫描、面扫描、谱图结果及可靠的Noran定量结果

着陆能量范围

  • 20 eV – 30 keV

样品台偏压(样品台减速)

  • -4000V~+600V

低真空模式

  • 选配:样品仓气压范围10-500Pa

样品台

  • 五轴电动马达台,XY轴行程范围110x110mm2,倾斜范围-15°~+90°,最大样品重量:5kg(不倾斜)

最大束流

  • 50 nA(选配 400 nA)

标准样品台

  • 一款多功能样品台,可以容纳18个标准钉台(φ12mm),有三个预倾斜桩,截面样品台和两个STEM载位

样品仓

  • 340mm内宽,12个端口,最多同时安装三个EDS(两个互为180°),EDS、EBSD共面安装并与样品台的倾转轴正交


参考招标参数

场发射扫描电镜技术参数:

数量:1

1.设备用途:

1.1高分辨扫描电子显微分析系统主要用于各种材料的高分辨微观形貌观察和微区分析。

2.技术规格

2.1 电子光学系统

★2.1.1 分辨率:二次电子(SE)像

15 kV时≤0.9nm;1 k V时≤1nm;500V时≤1.2 nm

2.1.2 放大倍率范围不小于:30 ~ 1,000,000倍

(根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准)

2.1.3 发射电压范围不小于:200V 至 30kV;着陆电压范围不小于:20V 至 30 kV

2.1.4 电子枪:高稳定度肖特基场发射电子枪

▲2.1.5电子束流范围不小于:1 pA ~ 50 nA,连续可调

★2.1.6 自动式物镜光阑:物镜光栏应能自加热自清洁

2.1.7 复合物镜系统(电磁透镜、静电透镜),可实现完全无漏磁,可观察磁性材料

2.1.8无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑

▲2.1.7 电子枪维护和安装具备自动烘烤、自动启动、无机械对中功能

2.1.8 系统合轴:全自动

2.2 样品室和样品台

▲2.2.1 样品室:样品室左右内径≥340mm,分析工作距离≥10mm,12个探测器/附件接口

2.2.2样品台

★2.2.2.1五轴马达驱动,移动范围需同时满足:X ≥ 110mm,Y ≥110mm,Z ≥ 60mm,T ≥ -15°~+90°,R ≥ 360°连续旋转

2.2.2.2样品台承重量≥5.0 kg

★2.2.2.3多功能样品台:可放置≥18个标准样品托、≥3个预倾斜样品托架、截面样品托和≥2个预倾斜STEM载位(38°和90°)

▲2.3 探测器

2.3.1 电子探测器至少包括:

2.3.1.1样品仓二次电子检测器≥1个

2.3.1.2透镜内背散射电子检测器≥1个,可与镜筒内二次电子同时成像

2.3.1.3透镜内高分辨二次电子检测器≥1个

2.3.1.4样品室内背散射电子探测器≥1个

2.3.1.5样品室红外CCD相机≥1个

2.3.1.6样品室宏观导航相机≥1个,方便快速查找和定位样品

2.4 真空系统

2.4.1完全无油真空系统

2.4.2 涡轮分子泵和2台离子泵

2.4.3 前级机械泵为涡旋泵

2.4.4 样品室真空度:高真空模式优于6.3×10-6 mbar

2.4.5 抽真空时间:< 3.5分钟

2.5 数字图像处理系统

★2.5.1图像扫描:100%数字化扫描,最大扫描和成像≥64k x 64k像素

2.5.2电子束驻留时间范围不小于:0.025 – 25,000µs / 像素

2.5.3 图像显示:1920×1200像素,24” LCD显示器

▲2.5.4单幅图像显示功能和4幅图像同时显示功能(四活动窗口),可在一个界面同时显示光学导航,红外CCD和二次电子,背散射电子图像

2.5.5 图像记录:TIFF(8位,16位或24位),BMP或JPEG可选

2.5.6 Smart SCAN智能扫描软件 (256幅平均或积分,线积分或平均,隔行扫描),DCFI (漂移补偿幅积分)

2.6 控制和数据处理系统

2.6.1 电镜控制器

不低于以下配置:HP计算机工作站;Intel 3GHz以上CPU;DDRIII 16.0GB内存;独立显卡;DVD刻录机;24” LCD显示器

2.6.2 Windows 10的64位图形操作系统

2.6.3 操作方式:键盘、鼠标、控制面板

2.6.4 可自动调节:全自动镜筒合轴、全自动图像调整、电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿

厂家资料

地址:上海市浦东新区张江高科技园区盛夏路399号8号楼

电话:400-6699-117 转 8899

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