技术参数：
基片尺寸：4英寸、6英寸、8英寸、12英寸；
加热温度：25℃—400℃（可选配更高）；
均匀性： < 1%；
前驱体数：4路（可选配6路）；
兼容性： 可兼容100级超净室；
尺寸：950mm x 700mm；
ALD及PE-ALD技术；
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经销商
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原子层沉积系统（ALD）
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