1

厚度范围

20nm-50um（只测膜厚），100nm-10um（同时测量膜厚和光学常数n，k）根据薄膜材料的种类，其范围有所不同。

2

准确度

<1nm或<0.5%

3

重复性

0.1nm

4

波长范围

380nm-1000nm

5

可测层数

1-4层

6

样品尺寸

样品镀膜区直径>1.2mm

7

测量速度

5s-60s

8

光斑直径

1.2mm-10mm可调

9

样品台

290mm*160mm

10

光源

长寿命溴钨灯（2000h）

11

光纤

纯石英宽光谱光纤

12

探测器

进口光纤光谱仪

13

电源

AC100V-240V，50HZ-60HZ

14

重量

18kg

15

尺寸

300mm*300mm*350mm