LabMS 5000 ICP-MS/MS电感耦合等离子体串联质谱仪

简要描述：LabMS 5000 ICP-MS/MS 是莱伯泰科在获得用户广泛赞誉的 LabMS 3000 ICP-MS 基础上推出的全新一代三重四极杆质谱仪。

精准：MS/MS模式实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，从而获得更低的检测限和准确的超痕量分析结果。

稳定：采用工业标准27MHz 固态发生器，具有系统稳定性；优异离子传输系统设计即使在MS/MS模式下也具有超高的检测稳定性。

可靠：通过 SEMI S2 认证，多达十重安全防护配置，带来全面可靠的安全防护，保证仪器长时间安全可靠运行。

强劲：全基体进样系统结合优秀的接口设计及加强离子传输系统，带来强大的基体耐受性，即使高基体直接进样也可有效降低信号漂移。

易用：HiMass智能工作站，一键式，向导式、模块化设计，界面简洁直观，易学易用，极大提高工作效率。

ICP-MS维护要点如下：

　　定期检查炬管，主要是中心管，检查有无损坏，如有及时更换。

　　定期更换冷却水，约每半年更换一次。

　　定期清理水循环的散热器，三年左右检查制冷量。

　　当氩气的压力不足2.0MPa时，需要进行更换氩气瓶。

　　雾化器是进样系统中重要部件，需要做好定期维护工作，在测试过程中要定期用10%HNO3或王水浸泡清洗，要注意雾化器中心毛细管要被酸液浸到，再用无水乙醇洗并烘干装好。

　　ICP-MS要避免短时间频繁开关机，不使用的时候，确保每周开机一次。

　　定期清理水循环的散热器，3年左右检查制冷量。

　　定期检查机械泵油，确保泵油液面处于最大和最小刻度线之间，且泵油颜色洁净，否则进行更换。

LabMS 5000搭载莱伯泰科成熟的前处理技术，按照行业的需求进行了定制化的设计，对于半导体行业对灵敏度要求极高的需求，LabMS 5000可胜任超痕量元素分析，并能确保分析结果更加准确可靠。

无人值守

稳定可靠，可做到无人值守，24小时不间断安全运行，做到“来片即测”。

即时检测

前端机台配置标准溶液，MS自动绘制标曲；硅片抓取提取后，MS自吸提取液并按预设方法自动检测，检测结果即时发送前端机台。

安全运行

通过了SEMI S2认证，Interlock & EMO完善可靠

声光报警

一旦出现故障，报警信号反馈至前端机台，同时信号塔声光报警

获得2023 ANTOP奖：半导体领域国产 ICPMS 先行者

荣获2023 BCEIA金奖