四探针测试仪
直达仪器谱山东-济南 四探针测试仪
发布时间：2023/12/11
类型：中标通知
四探针测试仪(GY202309438)自购结果公示
发布时间：2023-12-11
该项目经自行采购程序，允许自购：
| 供应商： | 广州四探针 |
|---|---|
| 中标金额： | 23000 |
| 公示开始日期 | 2023-12-11 | 公示截止日期 | 2023-12-12 10:35:05 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 材料科学与工程学院 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学千佛山校区主楼0102室 | ||
采购清单 1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 四探针测试台 | 1 | 台 |
| 品牌 | 广州四探针 | 规格型号 | RTS-9 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | RTS-9 型双电测四探针测试仪采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换，在计算机控制下进行两次电测量，把采集到的数据在计算机中加与分析，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，因此显著降低了几何因素影响，从而提高了测量结果的准确度。所有这些，用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是无法实现的。 仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。 本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。四探针测试仪主机一台、四探针测试台一台、四探针探头一个、测试软件（含测控模块） 技 术 指 标 ： 测量范围 电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)； 方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)； 电导率：10-5～105s/cm； 电阻：10-5～105 Ω； 可测晶片厚度 ≤3mm 可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A 型测试台)； 200mmX200mm(配S-2B 型测试台)； 400mmX500mm(配S-2C 型测试台)； 恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流 连续可调 数字电压表 量程及表示形式000.00～199.99 mV；分辨力：10μV；输入阻抗＞1000MΩ； 精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)； 模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87 进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±1 字 整机测量最大相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试) ≤±4％ 整机测量标准不确定度 ≤4％ 测试标准 采用双电测测试标准，通过RTS-9 双电测测试软件控制四探针测试仪进行测 量并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算 出电阻值。仪器主机也可兼容RTS-8 四探针测试软件实现单电测测试标准， 两套软件可同时使用。 软件功能 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、 最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据 生成直方图，也可把测试数据输出到Excel 中，对数据进行各种数据分析。软 件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 计算机通讯接口 并口，高速并行采集数据。 标准使用环境 温度：23±2℃； 相对湿度：≤65％； 无高频干扰； 无强光直射； | ||
| 售后服务 | 服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-12-11
