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    福建-泉州 桌面式原子层沉积系统(JJ2024000015)采购公告

    发布时间:2024/05/14
    类型:招标公告
    项目名称 桌面式原子层沉积系统 项目编号 JJ2024000015
    公告开始日期 2024-05-14 15:16:01 公告截止日期 2024-05-17 17:00:00
    采购单位 清源创新实验室企业信息 付款方式 凭初步验收材料和正式发票支付90%合同款,正常运行一年后待全部货物最终验收合格付清剩余10%合同款。
    联系人 联系电话
    签约时间要求 到货时间要求 签约后45个工作日内
    预算总价 ¥400000.00
    发票要求
    含税要求
    送货要求
    安装要求
    收货地址 清源创新实验室企业信息,具体以我方指定的地点为准
    供应商资质要求

    符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

    公告说明

    采购清单1
    采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
    桌面式原子层沉积系统 1 真空应用设备
    品牌
    型号
    预算单价 ¥ 400000.00
    技术参数及配置要求 ★1. 尺寸:长550mm×宽420mm×高420mm±2%;工艺温度≥200℃;成膜不均匀性:≤±3%(不低于4英寸wafer沉积氧化钛薄膜) 2.前驱体源:配备4 个单管式50ml前驱体源,一条清扫气线;源瓶:配备4个单管式50ml前驱体源(含)4个。 3.源瓶加热器:配备1个180℃单管加热器,精度:180±1 oC。 ★4.采用抽屉式样品装载,4寸wafer ;配备粉末样品处理装置,实现晶圆及粉末式ALD,一机两用。 ★5.腔体采用真空腔体,配备高温铝腔温度≥200℃,温度控制精度≤±1 oC。 ★6.包括多组毫秒级ALD阀门,氧化管路采用双阀门设计,保证源进气量的稳定性。采用自动化加热,加热温度≥150 oC。 7.气体质量流量计:1个精确的载气流量控制,氩气最大量程200sccm;真空规:薄膜真空规,实时显示工艺压力,标准10torr电容薄膜。真空泵:30m3/H 飞越油泵,含泵前段返油过滤器,泵后端油雾过滤器 ;反应腔抽真空时间:10S;腔体衬板:提高腔体使用寿命,便于维护清洗,减少particle脱落。需配备一体式工控机,屏幕尺寸大于10英寸,带触摸功能;软件功能:配备行业标准多个GUI界面,用于自动和手动操作,系统监视器,报警和配方编辑,工艺菜单编辑功能,简易工步预设格式,多工艺菜单存储等功能。
    参考链接
    售后服务 商品承诺:原厂全新未拆封正品;商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

    信息来源:http://www.yuncaitong.cn/publish/2024/05/14/20LW627Y6XN31KZJ.shtml
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