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北京-北京高真空金属蒸发镀膜机（清采比选20240036号）成交结果公告

发布时间：2024/04/22

类型：中标通知

项目名称	高真空金属蒸发镀膜机	项目编号	清采比选20240036号
公告开始日期	2024-04-18 16:49:30	公告截止日期	2024-04-21 17:00:00
采购单位	清华大学企业信息	付款方式	货到付款100%
联系人		联系电话
签约时间要求		到货时间要求	签订合同后30个工作日内
预算总价	￥ 381000.00
发票要求
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址	北京市清华大学企业信息
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明

采购清单index

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
高真空金属蒸发镀膜机	1	台

品牌	普迪真空
型号	PD-300M
预算单价	￥ 381000.00
技术参数及配置要求	一、真空腔室真空专用304不锈钢腔室，300×300×500mm；前开门结构。配内衬防污板，可旋转水冷；二、镀膜要求镀膜蒸发速率： Al:10~30/s，Cu :5~10/s，Au:5~10/s； Ag:5~15/s；Ni:5~10/s；Ti:1~5/s；Pt:1~5/s；根据实际工艺可自动调整。镀膜速率控制要求：自动控制最小0.1A，手动控制0.02A（提供图片佐证）镀膜方式：实现全自动镀膜。可镀膜材料：Au/Cu/Al/Ag/Ni/Ti/Pt/Cr/Nb/Ga/In/Ir/Fe等，以及不常用低熔点金属等，氟化镁，氧化锰，C60，BCP,AlQ3等等低熔点化合物小分子材料等。镀膜厚度均匀性：2英寸工件/4英寸工件，保证片内均匀性优于+/-4%，片间均匀性优于+/-4%；镀膜厚度重复性：优于+/-1%；附着力：符合ISO及国标军标要求。三、膜厚仪进口 INFICON品牌，型号: SQC-310，配备 1 只水冷探头；显示控制精度0.01 埃；四、真空系统不小于1100L/S泵组高真空抽气系统；五、基片台尺寸最大可镀基片尺寸/面积：Φ100mm范围内可装卡各种规格配套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。基片台旋转：0-20转/分钟，可调可控。基片台可水冷。六、蒸发源及电源热蒸发系统配2组蒸发源（可使用丝状源与舟状源）；配备水冷蒸发电极,不小于1.44KW金属蒸发电源。七、控制方式西门子PLC+西门子触摸屏全自动控制；所有阀门采用电动控制。八、报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。九、设备配电电压：AC220V/50HZ 功率：4.5KW 十、设备震动设备震动A级，符合ISO标准，噪音指数65分贝以下十一、设备尺寸占地面积小节约实验室实验空间。 1.主机外形尺寸：W550×D950×H1850mm 仪器重量：118kg 2.泵: 外形尺寸：W200×D500×H260mm 仪器重量：36kg 3.水冷机外形尺寸：W230×D280×H380mm 仪器重量：16kg 十二、腔体洁净度要求 *需提供高真空状态腔体气体分析报告。
参考链接
售后服务	12个月

成交信息

成交供应商：	北京中仪智信科技有限公司企业信息

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