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    北京-北京 紫外光刻机(清采比选20240118号)采购公告

    发布时间:2024/05/07
    类型:招标公告
    项目名称 紫外光刻机 项目编号 清采比选20240118号
    公告开始日期 2024-05-07 08:25:20 公告截止日期 2024-05-14 09:00:00
    采购单位 清华大学企业信息 付款方式 合同签订后50%,验收合格后50%
    联系人 联系电话
    签约时间要求 到货时间要求 签订合同后120个工作日内
    预算总价 ¥ 380000.00
    发票要求
    含税要求
    送货要求
    安装要求
    收货地址 北京市清华大学企业信息刘卿楼
    供应商资质要求

    符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

    公告说明
    采购清单index
    采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
    紫外光刻机 1
    品牌
    型号
    预算单价 ¥ 380000.00
    技术参数及配置要求 1.曝光样品尺寸:4英寸,单面对准; 2.曝光光强:≥30mW/cm2; 3. 分辨率:1μm(胶厚1μm的胶); 4. 对准精度:正面对准精度可以达到±2μm 5. 掩模尺寸:5寸; 6.掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm 7.掩模相对于样片运动行程:X:±5mm;Y:±5mm;θ:±5度 8.照明均匀性:≥97%(Ф100mm范围) 9. 样品厚度:0.3mm-1.5mm(其他尺寸可定制); 10. 曝光波长:365nm(UV LED光源) 11. 曝光方式:接触式曝光,定时(计时方式0.1s—3000.0s) 配套系统和设备: 1.主机(机架、光学平台) 光学平台: 台面材料:不锈钢,抛光处理; 台面平面度:0.05~0.1mm/m2; 台面粗糙度:0.8~1.6μm; 调平方式:机械进行调平; 平台配套脚轮; 2.光源 光源类型:UV LED; 中心波长:365±5nm; 强度:≥30mW/cm2; 光照均匀性:≥97%; 能量稳定性:≥98%; 光强均匀性:<3% 3.驱动装置(主轴、镜头、驱动手柄) 主轴:X轴、Y轴、Z轴、θ轴 镜头:X轴、Y轴、Z轴 驱动手柄:Z轴控制 4.控制系统(PLC控制器、数字量模块、工控机、显示器) 5.视觉系统(COMS网口相机、工业镜头:放大倍率4倍、分辨率3.7微米、黄色点光源) 6.真空系统(真空吸盘:对应样品尺寸、Mask固定板、数字式真空表、配干式真空泵) 7.设备安装及人员培训 8.至少一年质保期。
    参考链接
    售后服务 12个月
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