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微纳制造与测量技术教育部工程中心

微纳制造与测量技术教育部工程中心

微纳制造与测量技术教育部工程研究中心暨天津市微纳制造技术工程中心(简称MNMT),依托于天津大学精密仪器与光电子工程学院、精密测试技术及仪器国家重点实验室、微纳制造与测试研究所,主要从事微机电系统(MEMS)、超精密微纳加工、微纳测量与装备等微纳制造技术的产业化工作。

  在微机电系统方向,MNMT以薄膜体声波谐振技术为核心,在MEMS滤波器、振荡器、传感器前沿研究与产业化应用方面,取得突破性进展。打造了国内高校唯一集设计、加工、封装、测试于一体的MEMS实验线,与知名企业建立了深入的产学研合作,引入外部资本创立了专业企业。

  在超精密微纳加工方向,MNMT专注于光学自由曲面加工、硬脆性材料复杂曲面加工、聚焦离子束纳米加工、精密微注塑、压铸技术等方面的研究与开发。在前沿科技领域开展创新性研究,获取具有自主知识产权的创新成果,培养和凝聚创新性人才,构建高水平实验技术和国际学术交流平台。为高校、院所、企业提供高难度加工服务,服务国内外单位逾百家,技术水平跃居国际前列。

  在微纳测量与装备方向,MNMT致力于新型、高端微纳尺度测量技术及相关仪器系统的研究,在微结构光学测试技术(微视觉、反射差分光谱、显微干涉、X射线三维显微成像等)和扫描探针测试技术等方面取得了系列化的创新成果。自主研制成功多套微结构几何量和机械量光学测试系统和原子力显微镜,解决了超薄膜生长实时监测、跨尺度表面形貌及相关几何量精密测量、MEMS三维耦合运动特性测量、亚微米级三维透视显微成像等一系列国际性测量难题,技术水平在国内处于领先地位。

  MNMT拥有长江学者1人、创业千人1人、青年千人2人,由20位教授、副教授与30位工程师构成的科研-产业化协同团队,支持中心在新一代信息技术和高端装备制造等战略性新兴产业领域取得了长足发展,在先进制造、微电子、仪器与传感、材料、生物、岩石矿物、国防等多个前沿和重点领域拓展了关键应用,有效推动我国微纳制造领域科学研究与产业化水平的提升。