微纳制造与测量技术教育部工程中心
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在微机电系统方向，MNMT以薄膜体声波谐振技术为核心，在MEMS滤波器、振荡器、传感器前沿研究与产业化应用方面，取得突破性进展。打造了国内高校唯一集设计、加工、封装、测试于一体的MEMS实验线，与知名企业建立了深入的产学研合作，引入外部资本创立了专业企业。
在超精密微纳加工方向，MNMT专注于光学自由曲面加工、硬脆性材料复杂曲面加工、聚焦离子束纳米加工、精密微注塑、压铸技术等方面的研究与开发。在前沿科技领域开展创新性研究，获取具有自主知识产权的创新成果，培养和凝聚创新性人才，构建高水平实验技术和国际学术交流平台。为高校、院所、企业提供高难度加工服务，服务国内外单位逾百家，技术水平跃居国际前列。
