微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室

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辽宁省微纳米技术及系统重点实验室/微系统与微制造辽宁省高校重点实验室是集微机电系统、纳米技术、信息光电子技术等为一体的研究机构，也是东三省微机电系统研发联合体牵头单位。实验室正式成立于2004年，其前身是2000年成立的大连理工大学微系统研究中心，重点实验室由中国科学院院士、大连理工大学王立鼎教授发起和组建，现任重点实验室学术委员会主任为王立鼎院士，实验室主任为刘军山研究员。

实验室确定以微纳系统与技术为研究主题，其研究方向为（1）生化微系统与物联网；（2）微纳传感器与执行器；（3）微纳仪器与装备；（4）信息光电子；（5）纳米材料与器件。

实验室围绕战略目标和学科方向，不断开拓高层次的国内外学术交流与合作。自2006年来，实验室共资助3批开放课题。同时完善访问学者制度，邀请国内外著名教授访问实验室，并把实验室年轻科研人员送到国外著名大学及研究所进行学术访问，提升了实验学术知名度。在学科上，以本实验室为依托建立了“微机电工程”和“精密仪器及机械 ”两个二级学科博士点，近五年培养博士研究生10余人、硕士研究生约150人。实验室积极开展对外学术交流，为科技工作人员提供自由发展的空间，重视与企业的产学研合作，目前已与国内20多家研究机构和企业建立了合作关系。

实验室研究工作取得了显著的进展：（1）对天空偏振光分布规律和多通道式仿生偏振导航传感器进行了开创性研究，采用纳米级加工手段制作了高精度仿生偏振光导航原理样机，实现了移动机器人精确轨迹规划实验，证明微纳传感器可以充分利用于移动设备导航。该项研究为揭开自然界生物的定位能力提供了一种崭新的研究思路，也为机器人及无人机等提供了新的自主导航定位手段。（2）针对航空航天领域微小型器件产品精度要求高、装调效率低的瓶颈问题，开展微小型器件高精度自动装配技术研究，形成了基于精密运动控制和显微机器视觉的位置检测与在线对准装配技术。为企业研制了10余种精密设备，获得国家机械工业科学技术二等奖2项和航空工业集团科技奖2项。（3）面向高性能生化微系统的重大需求，开展聚合物微纳制造方法、技术与装备研究，解决生化微系统中尺度耦合、聚合物表面的异质材料微结构制造、微纳模具制造等关键难题，以科研成果为基础，积极推进产学研合作，与企业合作研制开发了病原菌检测芯片、心肌损伤标记物检测芯片、血糖连续监测芯片等。（4）研发基于碳纳米管的原位生长和自组装构筑形貌规整的微米级功能炭材料的新技术，创造性把微通道的限域反应特性与碳纳米管原位生长与自组装过程有机融合，成功制备出具有规整外观形貌的、微米尺度的碳纳米管多级组装结构。成果为拓展碳纳米管的自组装途径提供了新思路。基于这一新技术制备得到的碳纳米管多面体在超滤、微纳反应器、催化等领域有潜在的应用前景。（5）用于ZnO薄膜生长的MOCVD系统、用于制备ZnO和各种氧化物薄膜的激光MBE设备，其性能接近国际先进水平。合成发现了新的超大环铜酞菁分子结构有机半导体材料，研制出工作在1.5mm的有机发光器件和光伏器件的原型器件。