等离子清洗机VP-R3采用低温真空石英腔体等离子清洗装置技术，真空腔体石英材质，两路进气通道，进气量可调，流量实时监测，数显真空检测，实时观察自动泄压动态，真空泵和主机联动噪音和油气污染小，中英文操作系统，触摸屏控制，射频频率13.56MHz，功率160W，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行30分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品，适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。更多善准科技等离子清洗机选型指南请关注广州善准科技有限公司官网。