ChinaMEMS2021中国MEMS制造大会宣传图

一、大会名称

2020中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会

同期举办：中国MEMS创业大赛

二、主办、承办单位

主办单位：中国半导体行业协会MEMS分会

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

苏州纳米科技发展有限公司

承办单位：MEMSRIGHT

江苏省纳米加工公共服务平台

苏州市集成微系统封装平台

苏州敏芯微电子技术股份有限公司

三、大会简介

作为国内唯一的MEMS行业组织，中国半导体行业协会MEMS分会联合江苏省纳米技术产业创新中心、MEMSRIGHT、中科院纳米所微纳加工平台与集成微系统封装平台、敏芯微电子等国内外MEMS代工厂、平台与机构等，在苏州举办ChinaMEMS中国MEMS制造大会，旨在汇聚全球MEMS制造产业资源，打造MEMS领域品牌会议，加强MEMS设计、研发、加工制造、封装测试等全产业链联动关系，促进以MEMS制造为主线的产业资源垂直整合，推动我国MEMS产业领域的人才集聚、技术创新、成果转化，加速突破我国MEMS制造领域发展瓶颈。

四、大会主题

MEMS全球市场与产业链布局

MEMS全球晶圆代工产业格局与发展趋势

MEMS先进晶圆封装测试市场发展方向

MEMS在智能终端的应用前景与发展方向

五、往届回顾

ChinaMEMS2019共计有220+付费参会人员，来自中芯集成电路制造（绍兴）、Silex、中科院纳米所纳米加工平台、华润微电子、中电55所、阿里巴巴、歌尔声学、瑞声等30+行业专家分享最新成果，同期展览面积18000平。

六、本届亮点

聚集全球MEMS制造产业链

汇聚silex、SMEC、Bosch、MEMSRIGHT、华润微电子、士兰微、天水华天、苏州晶方、中国电子55所等全球一流MEMS制造企业

“中国MEMS创业大赛”首次举办

2个权威奖项，以公平、公开、公正为原则进行评选。聚集明星企业，最新科技的项目。20家入围企业集体参展。

“MEMS制造联盟”正式成立

50+MEMS制造领域的科研机构联合成立，着手解决行业痛点，携手共同发展

“MEMS之夜”群英荟萃

40家MEMS产业链高层共聚金鸡湖畔，共同探讨产业发展

《MEMS制造白皮书》发布

报告由中国半导体行业协会MEMS分会联合赛迪共同发布，精准解读行业，把握行业发展趋势

七、展览范围

MEMS器件

光学MEMS；射频MEMS；MEMS物理传感器(加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；高复合型MEMS(CMOS/MEMS,LSI/MEMS一体化)。

MEMS代工服务

仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀。

MEMS应用

超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集。

MEMS加工设备

薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形(注射,热压)；其他生产设备。

分析与检测仪器

光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统。

纳米机械微制程技术

超精度纳米机械工艺；超精密加工,微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等。

纳米压印技术

微纳米模型；纳米压印生产设备。

生物技术与医疗应用

MEMS在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA&RNA技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测）等。

查看更多苏州纳米科技发展有限公司

苏州纳米科技发展有限公司，成立于2010年9月，是专注于苏州工业园区纳米技术产业发展的国有公司。苏州纳米科技发展有限公司连续四年策划与实施“中国国际纳米技术产业发展论坛及纳米技术成果展”，该大会目前已成为我国规模最大、国际影响最广、聚焦产业的纳米大会，并与美国、日本、德国、英国、俄罗斯、芬兰、荷兰、奥地利、比利时等多个国家建立了多层次的合作关系。

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

中国半导体行业协会MEMS分会

中国半导体行业协会MEMS分会是在国家民政部注册登记的中国半导体行业协会的分支机构。MEMS分会成立于2014年10月，由全国MEMS产业科研机构、设计、制造、封装测试、产业平台、仪器装备、集成应用、产业服务及相关企、事业单位自愿参加并发起成立的全国性、非营利性的社会团体。截止目前，拥有会员企业150家，协会工作重点覆盖产业政策、会员服务、行业统计、产业研究、宣传工作、市场推广、展览活动、知识产权等八个方向。