TEM真空系统
真空系统
电镜的真空系统由机械泵、油扩散泵、真空管道、阀门及检测系统组成。
在电子显微镜中，电子由电子枪发出经过样品，打到荧光屏上。电子束的穿透力很弱，只有在高真空的情况下才能达到一定的行程。整个路程中，应该没有空气分子的碰撞，这就要求必须将电子束通道、既镜筒抽成高真空。镜筒高真空的好坏，直接影响到电镜能否正常工作。如果真空不好，还会使灯丝寿命缩短，电子枪也会放电引起高压不稳，样品也容易污染。因此电镜工作时，镜筒的真空度要求在10－4～10－6托，一般 的抽真空系统包括两至三只机械泵和一只油扩散泵。获得高真空分两步：第一步由机械泵抽低真空，从大气抽到1.33—0.133pa（0.01-0.001mmHg）的真空度；第二步由油扩散泵抽高真空，从低真空抽到13.33×10-4 ～10-5Pa(10-5 ～10-6mmHg) 的真空度。若是场发射型的电镜，则要利用离子泵或分子泵进行抽真空。
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